Урезкова Е.А.(в/о)

Название дипломной работы: 
Практический метод расчета и коррекции "эффектов близости" в элект. литографии для э-л систем.
Руководитель: 
к.ф.м.н., нач. лаб. ГИ "Салют" Волкова Э.П.
Рецензент: 
нач. лаб., к.т.н. Завьялов С.Х.
Оценка: 
УДОВЛ., внедрение
Год: 
1987