Главная страница

Программа НАТО Наука для Мира

Проект SfP-973799 Полупроводники (Semiconductors):

Разработка радиационно стойких полупроводниковых приборов для систем связи и прецизионных измерений с использованием шумового анализа

Текущее состояние

1. Состояние подобных научных исследований в Стране Партнера и во всем мире

На сегодняшний день однозначно выявлена определяющая роль дефектов, как фактора, ограничивающего надежность полупроводниковых приборов. По этой причине ведутся интенсивные исследования, направленные на уменьшение влияния посторонних дефектов на параметры приборов.

К настоящему времени относительно хорошо изучены свойства гетероструктур с самоорганизованными квантовыми точками (QD) GaAs/InGaAs, полученных методом молекулярной лучевой эпитаксии (MBE), что позволило создать на их основе лазеры. Значительно меньше изучены аналогичные QD, полученные методом МОС-гидридной эпитаксии (MOCVD), что отчасти обусловлено трудностями контроля за процессом роста и самоорганизации слоя QD в этом методе.

Инжекционные полупроводниковые лазеры для оптоэлектроники на основе квантово-размерных гетероструктур GaAs/InGaAs (с квантовыми ямами и точками) являются в последние годы объектом интенсивных исследований и разработок. Однако до сих пор мало изучены процессы образования дефектов в этих структурах и приборах под действием радиационных и других воздействий и их влияние на технические и эксплуатационные характеристики этих приборов. Это не позволяет прогнозировать поведение приборов в условиях повышенной радиации и выработать рекомендации по повышению их радиационной стойкости.

В Нижегородском государственном университете накоплен значительный опыт как в области разработки технологии таких структур и создания приборов на их основе, так и в области их исследования методами фотоэлектрической и фотолюминесцентной спектроскопии. Ведутся, в частности, и исследования процессов образования, миграции и пассивации дефектов в этих структурах.

Аналогичные исследования ведутся группами, которые возглавляют В.Паленскис и Г.Леонтьев (Вильнюс, Литва), Н.Лукьянчикова (Киев, Украина), С.Корнилов (Санкт Петербург, Россия), Е.М.Дианов (Москва, Россия), J.Sikula (Brno, Czech Republic), J.Zimmermann (Grenoble, France).

2. Уровень знаний в группах, которые будут работать над Проектом

2.1. Группа NPD

Начиная с уникальных работ Хоухе 1969 года здесь ведутся интенсивные исследования, направленные на выявление природы 1/f шумов в проводящих средах различной природы, включая электролиты, металлы, полупроводники. Разработаны уникальные методы и экспериментальные установки, позволяющие выполнение разносторонних исследований электрофизических характеристик исследуемых приборов.

Круг научных интересов группы NPD весьма широк:

Исследование 1/f шума в металлах, полупроводниках и изоляторах (оптические волокна), электрических контактах, приборах, особенно MOS транзисторах, биполярных транзисторах, MESFETs и MODFETs, диодах, солнечных элементах, и лазерных диодах.

Помимо оригинальных исследований, направленных на выявление влияния структуры прибора на его 1/f шумы, в группе NPD получены новые данные, указывающие на существование связи между 1/f шумом и надежностью прибора. Эти данные могут использоваться как базис для развития неразрушающих методов диагностики надежности и радиационной стойкости существующих и вновь создаваемых полупроводниковых структур.

Руководитель Группы NPD (L.K.J.Vandamme) автор и соавтор более 120 публикаций в научных журналах и конференциях. Он приглашен Редакционной коллегией журнала IEEE Transactions on Electron Devices (vol. 41, No. 11, November 1994, pp. 2176-2187) для написания статьи "Noise as a diagnostic tool for quality and reliability of electron devices".

Научные достижения группы получили всемирное признание. Примером этому является имеющая широкое распространение так называемая формула Хоухе Клайнпеннина - Фандамме (см. F.N.Hooge, T.G.M.Kleinpenning, L.K.J.Vandamme. Experimental studies on 1/f noise. Reports on Progress in Physics. 1981. V.44, No 3. P. 479).

В последнее время в группе выполнен цикл оригинальных экспериментов, направленных на выявление влияния радиационных эффектов на электрофизические характеристики современных полупроводниковых структур.

2.2. Группа PPD

В Группе PPD исследования природы шума и механизмов старения в полупроводниковых приборах, а также поиск путей снижения шумов, повышения надежности и радиационной стойкости как отдельных приборов, так сложных твердотельных радиоэлектронных систем, ведутся более трех десятилетий.

Для этой цели постоянно разрабатываются новые методы и адаптируются известные методы, такие как:

Ведутся исследования процессов образования, миграции и пассивации дефектов в полупроводниковых структурах при различных воздействиях (ионная имплантация, плазма, окисление, поверхностные химические реакции), приводящих к образованию дефектов.

Разработаны методы анализа процессов образования дефектов в полупроводниках с применением фотоэлектрической и фотолюминесцентной спектроскопии и квантово-размерных слоев. Накоплен значительный опыт как в области разработки технологии роста таких структур MOCVD методами и создания приборов (лазеры, фотоприемники и др.) на их основе, так и в области их исследования. Ведутся, в частности, исследования процессов образования, миграции и пассивации дефектов в этих структурах.

Сотрудники Нижегородского университета и привлекаемых организаций являются пионерами в исследованиях воздействия радиационного излучения на полупроводниковые материалы и приборы в России.

В настоящее время стали понятными пикосекундные процессы динамического образования и последующей релаксации как точечных радиационных дефектов, так и их кластеров.

Исследовательская группа Нижегородского университета и Конечные Пользователи обладают большим практическим опытом моделирования пикосекундных процессов взаимодействия потоков носителей заряда в полупроводниковых материалах с возникающими в момент радиационного воздействия дефектами различной структуры. Детально исследованы зависимости электрофизических характеристик материалов от доз и интенсивностей радиационного воздействия, а также динамика их релаксации во времени.

Получены модели полупроводниковых приборов микроволнового и ультра-микроволнового диапазонов в приближении времен релаксации и методом Монте-Карло с учетом деградации времен релаксации энергии и импульса носителей тока.

Получены следующие научные результаты.

    1. Выработано физическое описание 1/f шума в различных твердотельных устройствах. Это описание предлагает объяснение экспериментально найденной связи между интенсивностью шума и старением устройств.
    2. Существенно пересмотрены и модифицированы статистические методы, предназначенные для исследования характера различных типов шума.
    3. Разработаны компьютерно-ориентированные методы для анализа шумового возмущения сигналов в системах генерации и обработки прецизионных сигналов.
    4. Экспериментально измерена деградация времен релаксации энергии и импульса электронов в n-GaAs.
    5. Разработаны экспериментальные методы исследования процессов образования и миграции дефектов в полупроводниках III-V с использованием фотоэлектрических методик и QW InGaAs/GaAs в качестве дефектно-чувствительных зондов.
    6. Обнаружена способность QW InGaAs/GaAs геттерировать дефекты и препятствовать их диффузии.

ЗАО "Время-Ч" из Нижнего Новгорода (Конечный Пользователь 1) известно как изготовитель водородных стандартов частоты и времени (активных и пассивных). Эта компания продает свою продукцию по всему миру: Австралия (для радиоастрономических обсерваторий), Китай, Германия. Разумеется, эти Стандарты производятся и для российских систем связи.

3. Технологические возможности вовлеченных исследовательских групп

Разработан ряд новых конструкций волноводов в полупроводниковых лазерах, позволяющих снизить расходимость пучка и повысить выходную мощность. В последние годы активно ведутся исследования по развитию технологии выращивания гетероструктур с квантовыми точками. Результаты исследования этих структур методами спектроскопии фотолюминесценции и фотопроводимости свидетельствуют о возможности изготовления на их основе полупроводниковых приборов (светоизлучающих и лазерных диодов).

Основное научное оборудование, принадлежащее Группе PPD:

    1. Оборудование для теста DC/AC характеристик и для анализа низкочастотного шума полупроводниковых приборов и для измерения характеристик излучения лазерных диодов в ближнем инфра-красном диапазоне.
    2. Технологическое оборудование для MOCVD эпитаксии III-V полупроводниковых структур, а также изготовления лазерных диодов ближнего ИК диапазона.

Другое научное оборудование, к которому коллектив имеет доступ:

    1. Технологическое оборудование и GaAs-технология для изготовления полевых транзисторов, диодов Шоттки и Ганна, переключающих pin-диодов, IMPATT и других микроволновых приборов.
    2. Измерительное оборудование для анализа статических, динамических и шумовых характеристик микроволновых диодов, транзисторов, гибридных и монолитных интегральных схем, включая зондовые измерители высокочастотных параметров приборов на пластине до частот 37-60 ГГц.
    3. Испытательное оборудование: камеры тепла и холода, источники быстрых частиц и квантов (гамма-квантов и нейтронов до 1 МэВ, протонов альфа-частиц и легких ионов до 100 кэВ).
    4. Автоматизированные установки измерения спектральных характеристик фотолюминесценции и фоточувствительности.
    5. Сканирующий зондовый и туннельный атомно-силовой микроскоп "Accurex TMX-1200" (Топометрикс).
    6. Сканирующий зондовый микроскоп ближнего оптического поля (NSOM) "Аврора", (Топометрикс).

Технологические возможности вовлеченных исследовательских групп и полученные научные результаты отражены в более чем 300 публикациях в российских и международных научных журналах и конференциях.