Программа "НАТО Наука для Мира"
Проект SfP-973799 Полупроводники (Semiconductors):
Разработка радиационно стойких полупроводниковых приборов для систем связи и прецизионных измерений с использованием шумового анализа
1. Состояние проблемы в Стране Партнере
Разработка малошумящих высоконадежных полупроводниковых приборов и структур представляет собой одно из приоритетных направлений российской науки и техники. Подобные устройства необходимы для разнообразных аспектов народного хозяйства России, таких как:
Фундаментальные знания физики и технологии полупроводников в России соответствуют международному уровню. То же самое можно сказать про понимание физики шумов.
2. Решаемая Проблема и планируемые результаты
Целью Проекта является снижение шумов, повышение надежности и радиационной стойкости микроволновых и оптических приборов на основе гомо и гетеро структур, в том числе с квантоворазмерными слоями (диодов, транзисторов и других).
Решение указанной задачи необходимо для создания полупроводниковых приборов, предназначенных для использования в системах связи, прецизионных измерений и мониторинга окружающей среды.
Одной из важнейших областей использования таких приборов являются системы, работающие при воздействии вредных внешних факторов: на атомных электростанциях и системах спутниковой связи.
Радиация может изменять структуру полупроводниковых материалов. Подход к созданию малошумящих надежных радиационно стойких приборов, заключается в адаптации существующих неразрушающих методов для контроля внутренних дефектов.
В связи с этим особую роль играет разработка полупроводниковых приборов на основе сложных полупроводниковых соединений III-V (GaAs, InGaAs, InP и др.), характеризующихся малыми временами жизни неосновных носителей тока, а следовательно более высокой радиационной стойкостью по сравнению с элементарными полупроводниками (Si и Ge).
В последние годы активно развивается технология производства полупроводниковых лазерных диодов (LDs) на структурах типа InGaP/GaAs/InGaAs, позволившая значительно улучшить параметры этих полупроводниковых приборов (например, уменьшить пороговый ток). Сравнительно большая выходная мощность излучения LDs при небольших размерах делает их перспективными для применения в системах связи.
В настоящее время предпринимаются попытки изготовления лазерных диодов с использованием в качестве активной области одного или нескольких слоев самоорганизованных квантовых точек (QD) на структурах типа InAs/GaAs. Предсказана высокая температурная стабильность и более высокая радиационная стойкость полупроводниковых приборов с квантовыми точками по сравнению с приборами на основе квантовых ям. Последнее связано с тем, что в случае структуры с QW рекомбинационные центры сильно влияют на время жизни, так как экситон локализован только в направлении роста, перпендикулярном плоскости квантово-размерного слоя, он может диффундировать в плоскости и рекомбинировать на дефектах. В то же время экситон, сформированный в QD, локализован во всех направлениях и стабилен относительно рекомбинационных процессов вне QD. Предположение о более высокой радиационной стойкости приборов на квантовых точках частично подтверждается экспериментами по влиянию экспонирования полупроводниковых структур в газовой плазме.
Однако до сих пор мало изучены процессы образования дефектов в этих структурах и приборах под действием радиационных и других воздействий, а также влияние дефектов на технические и эксплуатационные характеристики этих приборов, что не позволяет прогнозировать поведение приборов в условиях повышенной радиации и выработать рекомендации по повышению их радиационной стойкости.
Для модификации полупроводниковых приборов, с целью повышения их надежности и радиационной стойкости, предполагается использовать радиационные технологические процессы (РТП) - ионное легирование, облучение различными видами излучений (оптическими, ИК, рентгеном, гамма-излучением). Это может привести к направленной, положительной целевой модификации свойств материала.
Одним из основных РТП является облучение протонами и последующее геттерирование - процесс релаксации дефектно-примесных комплексов путем диффузии и/или рекомбинации при внешнем (обычно радиационном) воздействии. Используется для направленного улучшения свойств рабочих слоев полупроводниковых приборов.
На всех этапах проектирования, исследования характеристик материалов и отработки технологии предполагается использовать оригинальные программные продукты.
3. Развиваемые наука и технология
Для снижения шумов, повышения надежности и радиационной стойкости полупроводниковых микроволновых и оптических приборов необходимо одновременное решение следующих задач науки и технологии.